Détails sur le produit:
Conditions de paiement et expédition:
|
Lubrification: | Maglev | Bride: | ISO-K/CF |
---|---|---|---|
refroidissement: | L'eau | Vitesse de pompage: | N2 2300L/s |
Surligner: | pompes moléculaires de turbo,pompe à vide turbomolecular |
Pompe Maglev, CXF-250/2300, ISO-K / CF, refroidissement par eau, contrôleur externe
Les pompes moléculaires à lévitation magnétique sont les pompes dont l’arbre est supporté grâce à la force magnétique, répondant aux exigences des domaines de la fabrication de semi-conducteurs modernes, de la fabrication de puces, du placage industriel et des instruments scientifiques.
Les technologies:
Les avantages:
Ces pompes présentent des avantages, tels que zéro frottement pendant le fonctionnement et une faible consommation électrique, facile à acquérir, vide très propre et vide très élevé sans lubrification pour les pompes, possibilité d'extraire des gaz corrosifs à long terme, haute sécurité et longue durée de vie grâce à la protection de roulements avec billes en céramique de précision et fonction de génération de puissance en cas de coupure de courant soudaine. Il a des advatages sans frottement, pollution et entretien et avec peu de vibrations, et peut être installé dans n'importe quelle orientation.
Applications:
Extraction de gaz corrosifs présents dans les procédés de gravure, CVD, PVD et implantation d'ions et de gaz facilement coagulés à température normale dans les domaines de la fabrication de semi-conducteurs, de la fabrication de clips, du placage industriel et des instruments scientifiques.
Spécification:
Bride (en) | DN250 CF / ISO-K, ISO-F |
Bride (Out) KF | DN40 |
Vitesse de pompage (L / s) | N 2 : 2300 |
Ar: 2250 | |
Il: 1900 | |
H 2 : 850 | |
Ratio de compression | N 2 : 10 8 |
Ar: 10 8 | |
Il: 10 4 | |
H 2 : 10 3 | |
Pression ultime (Pa) | FC: 1 × 10 -6 |
ISO-K / F: 6 × 10 -6 | |
Max. Pression continue sous vide (Pa) | 60 |
Max. Pression avant vide | N 2 : 250 |
Gaz tout au long (sccm) | N 2 : 3600 |
Ar: 1400 | |
Il: 2800 | |
H 2 : 2100 | |
Vitesse de rotation (tr / min) | 27000 |
Temps de montée (min) | ≤11 |
Type de refroidissement, standard | Eau |
Consommation d'eau de refroidissement (L / min) | 1 |
Température de l'eau de refroidissement () | 20 |
Connexion électrique: tension (V CA) | 220 |
Modèle de contrôleur | CXF-2300 |
Poids (kg) | 59 (ISO-K / F) 62 (CF) |
Personne à contacter: sales
Téléphone: +8613810212935